(ÁÖ)À̾ÈÀº ȯ°æÁ߽à ±â¾÷ °¡Ä¡¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÀÚÀ²ÀûÀΠȯ°æ °æ¿µ ½Ã½ºÅÛÀ» ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
LIAN TOC ºÐ¼®±â´Â Çö´ë Ãʼø¼ö ½Ã½ºÅÛÀÇ À¯±â¹°ÀÇ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µÀÇ Á¶°Ç¿¡ ºÎÇÕÇÏ´Â »ê¾÷ Ç¥ÁØÀ¸·Î Àνĵǰí ÀÖ½À´Ï´Ù. TOC ºÐ¼®±â´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ±â¼úÀÇ Áöħ¼ ITRS (Industry Technology Roadmap for Semiconductors) ·Îµå¸ÊÀÇ TOC ·¹º§°ú ÀÏÄ¡ÇÏ´Â, 1 - 3 ppb ÀÌÇÏ¿¡¼ÀÇ Á¤È®µµ¿Í ÀçÇö¼ºÀÌ ¾ÆÁÖ ¶Ù¾î³³´Ï´Ù. Anatel TOC ºÐ¼®±â´Â USP<643>, EP 2.2.44 ¿¡¼ ¿ä±¸ÇÏ´Â TOC¿Í USP<645>, EP 2.2.38 ±×¸®°í USP, EP, JP, KP µî Àü¼¼°è ¸ðµç ¾àÀüÀÇ ¿ä±¸ »çÇ× Áؼö¿¡ ¸Âµµ·Ï ¼³°è Á¦À۵Ǿú½À´Ï´Ù. ½ÇÇè½Ç¿¡¼ »ý»ê ÇöÀåÀ¸·Î TOC ºÐ¼®±â°¡ À̵¿ÇÏ´Â Ãß¼¼ÀÎ PAT ±â¼ú¿¡ Á¢¸ñÇÏ¿© ½Ç½Ã°£À¸·Î °øÁ¤À» °¨½ÃÇÏ¿© ºñ¿ëÀý°¨ ¹× »ý¸í°øÇÐ °ü·Ã Á¦Ç°ÀÇ Ç°Áú ¹× È¿´ÉÀ» º¸ÀåÇϵµ·Ï µµ¿òÀ» ÁÙ °ÍÀÔ´Ï´Ù.